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叫什么邦洗液无锡旭邦精密机械取得一种晶圆清洗花篮专利,能够对不同尺寸的晶圆进行放置提高清洗效果

金融界2025年4月3日消息,国家知识产权局信息显示,无锡旭邦精密机械有限公司取得一项名为“一种晶圆清洗花篮”的专利,授权公告号 CN 222705470 U,申请日期为2024年4月。

专利摘要显示,本实用新型属于半导体晶圆清洗装置技术领域,尤其涉及一种晶圆清洗花篮,包括固定柱和放置篮,放置篮设置于固定柱侧面,固定柱底面固定安装有固定底座,放置篮内部设置有调节单元,调节单元包括卡接件、滑槽、隔板、插板和插槽。该晶圆清洗花篮,通过在放置篮内壁开设滑槽并在滑槽内安装隔板能够对不同尺寸的晶圆进行放置,适用不同尺寸的晶圆进行调节放置空间进行清洗提高清洗效果,在放置篮内底面和内壁均贯穿进液孔使得清洗液能够快速将晶圆进行浸没清洗,通过设置旋转机构能够在对放置篮内部的晶圆进行清洗时带动放置篮进行旋转提高清洗效果,设置升降机构便于在清洗时能够调节放置篮在超声波清洗液中的浸没深度对晶圆进行清洗。

天眼查资料显示,无锡旭邦精密机械有限公司,成立于2011年,位于无锡市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币,实缴资本473.2万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡旭邦精密机械有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息78条,此外企业还拥有行政许可10个。

本文源自:金融界

作者:情报员

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